呼韩邪单于来到王庭，此后几个月，单于罢兵，同时让各路匈奴军队撤回原领地，呼韩邪单于在民间找回自己的哥哥呼屠吾斯，立为左谷蠡王，同时派人告知右贤王属下贵人，让他们杀掉右贤王。当年冬天，都隆奇与右贤王共同拥立日逐王薄胥堂为屠耆单于，发兵数万军队向东边左地攻打呼韩邪单于。呼韩邪单于兵败逃走，屠耆单于撤军返回，封长子都涂吾西为左谷蠡王，小儿子姑瞀楼头为右谷蠡王，驻留在单于王庭。

第二年秋天，屠耆单于任命日逐王先贤掸的哥哥右奥鞮王为乌藉都尉，命令两人各率领两万骑兵，驻扎在东部防备呼韩邪单于。在当时，西部呼揭王前来与唯犁当户谋划，共同谮毁右贤王，说右贤王想自立为乌藉单于，屠耆单于遂杀了右贤王父子，此后发现冤枉了他们父子，又回过头来杀了唯犁当户。呼揭王害怕了，随即逃走，自立为呼揭单于。右奥鞮王听说后，也自立为车犁单于。乌藉都尉自立为乌籍单于。这一来，匈奴中就有了五位单于。屠耆单于亲自率领军队向东进攻车犁单于，让都隆奇进攻乌籍单于。乌籍单于与车犁单于先后战败，向西逃亡，而后与呼揭单于合兵一处，三位单于现在拥有四万余兵力。乌籍单于、呼揭单于取消单于王号，合力辅佐车犁单于。屠耆单于听说后，派出左大将、都尉，率领四万骑兵分别驻扎在东部，防备呼韩邪单于，亲自率领四万骑兵向西进攻车犁单于。车犁单于战败，向西北逃走，屠耆单于遂引兵向西南，驻扎在闟敦地区。

接下来一年，呼韩邪单于派出弟弟右谷蠡王等人向西袭击屠耆单于的领地，消灭一万多人。屠耆单于听到消息后，亲自率领六万骑兵进攻呼韩邪单于，前进一千余里地，还未抵达嗕（rù）姑，正碰上呼韩邪单于率领的四万骑兵前来迎战，两军遂陷入混战。屠耆单于战败，自杀。都隆奇与屠耆单于的小儿子右谷蠡王姑瞀楼头慌忙逃窜，投降汉朝，车犁单于向东投降了呼韩邪单于。呼韩邪单于手下的左大将乌厉屈和父亲呼遬累乌厉温敦看到匈奴内部陷入内乱，只好率领手下部众数万人南下投降汉朝。宣帝封乌厉屈为新城侯，封乌厉温敦为义阳侯。在当时，李陵的儿子重新立乌藉都尉为单于，呼韩邪单于又将其捕获斩杀，夺取了单于王庭，匈奴此时剩下来的部众仅有寥寥数万人。屠耆单于的堂弟休旬王率领手下五六百骑兵，杀了左大且渠，兼并了他的军队，来到西部右地，自立为闰振单于，驻扎在西边。再后来，呼韩邪单于的哥哥左贤王呼屠吾斯也自立为郅支骨都侯单于，驻扎在东边。接下来两年，闰振单于率领部众向东进攻郅支单于。郅支单于迎战，杀了闰振单于，兼并了他的部众，接下来进攻弟弟呼韩邪单于。呼韩邪单于兵败，率领残部落荒逃走，郅支单于遂占领王庭。

呼韩邪单于兵败后，左伊秩訾王为呼韩邪单于谋划，劝谏呼韩邪单于向汉朝称臣，进入汉朝边境，臣服于汉朝皇帝，以求得汉朝保护，只有这样，这部分匈奴人才能够生存下去。呼韩邪单于征求大臣们的意见，众大臣说：“不能这样做。匈奴人的风俗，向来是崇尚勇敢和武力，鄙视奴颜婢膝地服侍他人，在马上拼死战斗建立国家，因此在百蛮中才能够享有威望。我们宁可战死在沙场，这是战士们最好的归宿。现在兄弟之间争夺王位，不是哥哥在位，就是弟弟在位，即使战死，也能够英名长存，子孙还可以掌控国家。汉朝虽然强大，还不足以兼并匈奴，我们为什么要违背祖制，向汉朝屈膝称臣，侍奉汉人，有辱逝去的单于祖先，让其它蛮夷国家耻笑！虽然一时间可以获得稳定，又怎么能够再做百蛮的酋长！”左伊秩訾说：“你们说的不对。强弱因时而异，汉朝现在强盛，西域乌孙国以及其它城邦小国，均愿意臣服于汉朝。自从且鞮侯单于以来，匈奴日益衰弱，难以再现昔日的辉煌，即使我们在这里仍然逞强，终究得不到一日安宁。我们现在臣服于汉朝，首先可以求得生存，不能臣服于汉朝，则随时会遭遇灭亡，什么样的主意能比生存更为重要！”下面的大臣仍然争执不休。呼韩邪单于终于拿定主意，率领部众南下靠近边塞，派儿子右贤王铢娄渠堂进入汉朝边境，向朝廷请求侍奉汉朝皇帝。郅支单于也派了儿子右大将驹于利来到长安，请求侍奉汉朝皇帝。这一年，是宣帝甘露元年（公元前53年）。

宣帝甘露二年（公元前52年），呼韩邪单于来到五原塞下，希望在甘露三年正月朝见皇帝。宣帝派出车骑都尉韩昌迎接，向单于发放通行七个郡的通行证（五原郡、朔方郡、西河郡、上郡、北地郡、左冯翊、京兆尹），每郡派出二千骑兵，在沿途列阵迎送匈奴单于。单于在正月于甘泉宫朝见天子，天子以特殊礼遇对待呼韩邪单于，位置安排在诸侯王上面，呼韩邪单于在谒见皇帝时，赞礼官称臣，不报名字，赐予单于汉人穿的冠带衣裳，黄金铸造的玺印配上诸侯王使用的绿色绶带，还有以玉镶嵌的佩剑，佩刀，一张雕弓，四枝箭矢，十杆棨戟，一乘安车，一具鞍勒，十五匹骏马，二十斤黄金，二十万钱，七十七套衣被，八千匹绵绣绮縠杂帛，六千斤绵絮。礼仪完毕，宣帝派使臣在前边引导呼韩邪单于先行，在长平馆住宿。宣帝也从甘泉宫来到池阳宫驻跸。宣帝登上长平台，下诏单于不要拜谒，单于手下左右当户群臣可以列队观看整个仪式，其它蛮夷的君长王侯，有数万人，均在渭桥下排队恭迎皇帝，夹道迎候，排出很长的队伍。宣帝登上渭桥，下面的群臣山呼万岁，呼韩邪单于回到官邸歇宿，在长安逗留一个多月，而后返回匈奴领地。呼韩邪单于请求，愿意在光禄勋徐自为修筑的塞下居住，为汉朝护卫受降城。宣帝派出长乐宫卫尉高昌侯董忠、车骑都尉韩昌率领一万六千骑兵，又征调边郡上千名战士、马匹，将单于送出朔方郡鸡鹿关塞。下诏董忠等人留下来护卫呼韩邪单于，帮助单于镇压不服从命令的属下，又向边郡转运谷米，前后达三万四千斛，供给呼韩邪单于和匈奴人足够的粮食。这一年，郅支单于也派出使者，向朝廷贡献礼物，朝廷也给予厚重的赏赐。宣帝甘露四年（公元前50年），两位单于均派出使者，向朝廷贡献礼物，朝廷对呼韩邪单于派出的使者给予更为优厚的赏赐。宣帝黄龙元年（公元前49年），呼韩邪单于再次入长安朝见皇帝，宣帝给予的赏赐与第一次一样丰厚，又增加了一百一十套衣服，九千匹锦帛，八千斤绵絮。因为此前已经安排有汉军驻扎，就没有再派出汉军护送。

最初郅支单于认为呼韩邪单于降汉以后，势力会遭到削弱，不可能再返回匈奴，遂引兵向西扩大领地，妄图攻占西部右地。屠耆单于的小弟弟原来侍奉呼韩邪单于，也逃往西部右地，将两位兄长的残部收拢，获得数千人，遂自立为伊利目单于，途中遇到郅支单于的队伍，两军混战，伊利目单于兵败被杀，郅支单于将其余众收编，得到五万余人。听说汉朝出兵出粮帮助呼韩邪单于，郅支单于即留在西部右地，等待时机。又估计自己的力量还不足以控制匈奴部落，郅支单于遂再向西扩展，靠近乌孙国，想与乌孙国联合起来，派出使者去求见小昆弥乌就屠。乌就屠看到呼韩邪单于已经受到汉朝保护，郅支单于现在成为一个流寇，就想要进攻郅支单于，以讨好汉朝。于是杀了郅支单于派来的使者，将使者的头颅送往西域都护府，而后调动八千骑兵备战，迎候郅支单于。郅支单于看到乌孙国的军队很多，派出去的使者又没有返回，遂率军进攻乌孙军队，将乌孙军队打败。继而向北进攻乌揭，乌揭投降。郅支单于再发兵向西进攻坚昆，向北逼降丁令，兼并了三个国家。而后多次派兵进攻乌孙国，每战必胜。坚昆的东面，距离单于王庭七千里，坚昆的南面，距离车师国五千里，郅支单于遂驻留下来，设置国都。

黄龙元年（公元前49年）十二月，元帝即位，呼韩邪单于上书，谈到匈奴部族的民众饥困。朝廷即刻诏令云中郡、五原郡转送谷米二万斛接济呼韩邪单于的部众。郅支单于认为自己路途遥远，怨恨朝廷只帮助呼韩邪单于，派出使者上书，要求在朝廷侍奉的儿子返回匈奴。朝廷于是派谷吉护送郅支单于的儿子返回，郅支单于竟然杀害汉朝护送的使者。汉朝一直得不到谷吉的音讯，匈奴投降汉朝的人报告，听说使者在瓯脱遇害。呼韩邪单于的使者再次来到朝廷，朝廷按照瓯脱在呼韩邪单于的辖区，责问呼韩邪单于派来的使者，让他解释汉朝使者为什么会遇害。元帝初元二年（公元前47年），朝廷又派出车骑都尉韩昌、光禄大夫张猛护送呼韩邪单于的儿子返回，再次询问谷吉等人的下落，才知道此前误会了呼韩邪单于，遂赦免其罪，让呼韩邪单于不要担心汉朝会惩罚他们。韩昌、张猛看到呼韩邪单于的部落已经人丁兴旺，塞下的禽兽也已经射猎的差不多，单于的力量足以保卫自己，不会再畏惧郅支单于。又听说呼韩邪单于手下的大臣们多次劝说单于返回故乡，汉朝将军担心匈奴北去后再难以约束，韩昌、张猛于是与单于订立盟约，说：“从今以后，汉与匈奴合为一家，世代不得相互欺诈，相互攻击。有盗贼逃往对方，相互通报，按照法律惩办，追还盗窃的财物；有敌来犯，发兵相互救援。汉与匈奴有敢于违背盟约者，将受到上天惩罚。后代子孙均要遵守这个约定。”韩昌、张猛与呼韩邪单于以及匈奴大臣，一起登上匈奴诺水河边的东山，斩杀白马，单于用匈奴人使用的径路宝刀错金勺子搅动血酒，用老上单于打败月氏王（注：应该是冒顿单于，在文帝四年，公元前176年，参看文帝纪和匈奴传上），斩杀月氏王的头颅做成的饮酒器盛满血酒，而后双方歃血为盟，饮下血酒。韩昌、张猛返回后，向元帝奏报盟誓的经过。朝廷公卿们讨论，均认为：“单于已经答应了护卫汉朝边塞，作为汉的藩国，即使返回北方，也不会再成为汉朝的大敌，像此前一样危害到汉朝边郡。韩昌、张猛却擅自以国家名义，与夷狄订立世代遵守的盟约，让单于得以用诅咒的方式向上天祝告，使得国家蒙羞，致使汉军威望受到损害，不能批准。应该派出使者前去告知匈奴，重新祭天，解除原来订立的盟约。韩昌、张猛奉命出使匈奴，处理问题不够谨慎，应该判处不道罪。”元帝原谅了他们的过失，下诏赦免韩昌、张猛，没有批准解除盟约。再后来呼韩邪单于返回北方匈奴王庭，匈奴其它部落逐渐归附，匈奴国内终于安定下来。

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